Mūsu uzņēmums ir izstrādājis magnetrona izsmidzināšanas tipa vakuuma metalizatoru ar ruļļa uz ruļļa metodi

Kāds ir ruļļveida magnetrona izsmidzināšanas tipa vakuuma metalizācijas iekārtas darbības princips?

Magnetrona izsmidzināšanas tipa vakuuma metalizācijas iekārtas balstās uz elektrisko lauku, magnētisko lauku un jonizētu gāzes daļiņu mijiedarbību, lai bombardētu materiālu no cieta mērķa (pārklājuma avota) uz substrāta.

Kad vakuuma kamera tiek iztukšota un nonāk augsta vakuuma vidē, kamerā ievada inertu gāzi, parasti argonu (Ar). Starp katoda mērķi (nogulsnējamo materiālu) un anodu tiek pievadīts augstsprieguma līdzstrāvas barošanas avots. Spriegums jonizē argona atomus, atdalot elektronus, lai izveidotu pozitīvi lādētu argona jonu (Ar⁺) un brīvo elektronu plazmu.

Argona jonus (Ar⁺) plazmā elektriskais lauks paātrina negatīvi lādētā mērķa virzienā. Kad joni saduras ar mērķi, tie pārnes impulsu uz tā atomiem, izmetot tos tvaika fāzē. Šie izmestie mērķa atomi pēc tam pārvietojas un kondensējas uz substrāta, veidojot vienmērīgu, blīvu un pielipušu plānu plēvi.

Magnetrona izsmidzināšanas galvenā iezīme ir magnētiskā lauka izmantošana, ko rada aiz mērķa izvietoti magnēti. Šis magnētiskais lauks aiztur elektronus mērķa virsmas tuvumā, piespiežot tos sekot spirālveida trajektorijām. Šī ierobežošana palielina elektronu-jonu sadursmes varbūtību, uzlabojot plazmas blīvumu un jonizācijas efektivitāti. Rezultātā mērķi sasniedz lielāka jonu plūsma, ievērojami palielinot izsmidzināšanas ātrumu salīdzinājumā ar tradicionālajām izsmidzināšanas metodēm.

Kādas ir magnetrona izsmidzināšanas priekšrocības?

Augstas kvalitātes filmas: Pateicoties augstajam nogulsnēšanās ātrumam, rada blīvas, mazdefektu, vienmērīgas plēves ar lielisku saķeri.

Materiāla daudzpusība: Savietojams ar metāliem, sakausējumiem, keramiku.