Magnetrona izsmidzināšanas tipa vakuuma metalizācijas mašīna
Produktu ievads
☑ Magnetrona izsmidzināšanas metode ar ruļļa-ruļļa metalizāciju ir uzlabota plānslāņu kārtiņu uzklāšanas metode, ko plaši izmanto nozarēs, kurās nepieciešami lieli, elastīgi substrāti, un tā nodrošina nepārtrauktu vienmērīgu pārklājumu uzklāšanu uz elastīgiem substrātiem.
☑Process notiek augsta vakuuma vidē, lai samazinātu piesārņojumu un nodrošinātu augstas kvalitātes plēves uzklāšanu. Mērķa materiāls tiek bombardēts ar augstas enerģijas joniem (parasti argonu) plazmas vidē. Magnetrona magnētiskais lauks uzlabo jonizācijas efektivitāti un plazmas blīvumu, palielinot izsmidzināšanas ātrumu. Izmestie mērķa atomi pārvietojas uz kustīgu, elastīgu substrātu, kas uztīts uz veltņiem, un kondensējas uz kustīgā substrāta. Substrāts nepārtraukti pārvietojas, nodrošinot vienmērīgu pārklājuma uzklāšanu. Šī procesa laikā optiskie sensori var uzraudzīt slāņa biezumu, lai nodrošinātu vienmērīgumu.
☑Magnetrona izsmidzināšanas metode ļauj veikt nogulsnēšanu uz dažādiem substrātiem, tostarp metāliem, sakausējumiem un keramikas. Šim procesam piemīt izcilas īpašības, piemēram, augsts nogulsnēšanās ātrums, izcila saķere starp pārklājumu un substrātu, kā arī ļoti blīvas, tīras un vienmērīgas plēves struktūras.